Nanomechanical and nanotribological characterizations for reliability design of MEMS resonators (NARDEMS)
Conclusions and significant results
Concluzii

Pe parcursul dezvoltarii proiectului au fost realizate colaborari cu specialisti de renume din domeniul microsistemelor si a caracterizarilor de materiale MEMS. Au fost desfasurate vizite la laboratoare specializate din România si din strainatate. Discutiile avute cu specialistii din domeniu au confirmat necesitatea clarificarii aspectelor de iesire prematura din uz a rezonatoarelor MEMS.
De asemenea necesitatea unei baze de date care sa prezinte comportarea materialelor MEMS din punct de vedere al adeziunii si al oboselii este confirmata de specialistii din domeniul micro si nano-sistemelor. Pe baza acestui proiect s-a înfiintat un grup de cercetare pentru testarea mecanica si tribologica a micro si nano - sistemelor, capabil sa deserveasca companiile producatoare de sisteme MEMS si sa formeze specialisti în domeniu. De asemenea, s-a acreditat la Universitatea Tehnica din Cluj-Napoca, Laboratorul de Micro si Nano - Sisteme, coordonat de directorul prezentului proiect de cercetare. Unul dintre obiectivele laboratorului este si organizarea unor cursuri de perfectionare pentru cercetatorii din Romania, precum si implicarea laboratorului in proiecte internationale de cercetare. Se doreste atragerea tinerilor cercetatori in desfasurarea activitatilor proiectului si in cadrul laboratorului. In acest sens, pe langa echipa proiectului au fost antrenati în activitatea laboratorului si studenti de la ciclul licenta si master. O parte dintre ace?tia si-au definitivat tema de licenta si cea de master in domeniul proiectului.
Sensibilitatea rezonatorilor MEMS depinde de dimensiunile geometrice ale consolelor. Pentru a creste sensibilitatea, se recomanda folosirea consolelor cu lungime mare si latime mica. Conditiile de testare au influenta asupra raspunsului dinamic al rezonatoarelor. Frecarea cu aerul are o influenta negativa ridicata asupra pierderilor in energie a rezonatorului. Efectul termic are de asemenea o influenta asupra pierderilor de energie interioare din material pe baza disiparii termice de energie. Daca aplicatiile permit, se recomanda utilizarea rezonatorilor in vid deoarece creste sensibilitatea si acuratetea lor in raspuns. Consolele de tip paleta pot fi folosite satisfacator in aplica?iile de sesizare a maselor prin monitorizarea schimbarilor lor in frecventa de raspuns. Rezonatorii sustinuti de articulatii de tip FROG sunt recomandati a fi utilizati atat in aplicatii de monitorizare - detectare de vibratii cat si in comutatoarele MEMS precum si sistemele optice. Acestea prezinta posibilitatea unor deplasari mari cu stari de tensiuni reduse dar si o forta de revenire mult mai ridicata decat forta de adeziune.


Rezultatele semnificative obtinute în cadrul proiectului


· Infiintarea unei echipe de cercetare in anul 2011 care realizeaza activitati de cercetare in domeniul proiectarii, fabricarii si testarii de micro si nano - sisteme. 
· Acreditarea la nivel de universitate in anul 2013 a unui laboratorului de Micro si Nano - Sisteme in cadrul Universitatii Tehnice din Cluj-Napoca. In acest laborator sunt angajati permanent 6 cercetatori, dar isi desfa?oara actvitatea si doctoranzi respectiv studenti de la
ciclul de licenta si master.
· Publicarea rezultatelor obtinute in perioada septembrie 2011 - octombrie 2014 in jurnale ISI si prezentarea lor la conferinte internationale de prestigiu din tara si din strainatate (Portugalia, Franta, Spania, Italia, Germania). 
· Publicarea unui capitol in cartea de specialitate “Smart sensors and MEMS: Intelligent devices and microsystems for industrial applications”, ELSEVIER, aparuta in Noiembrie 2013 la prestigioasa editura Woodhead Publishing din Cambridge, 560 pagini, ISBN: 978-0-85709502-2.
Raport sintetic al proiectului